半导体厂送风系统是半导体生产环境中比较重要的组成部分，因为它需要提供洁净、稳定、温度和湿度可控的空气环境，以满足半导体制造对环境控制的要求。以下是一个简化的半导体厂送风系统工程方案：

    1.工程前期的规划与评估

    -需求分析：评估半导体生产车间的生产规模、生产工艺要求，确定送风系统的风量、风速以及需要控制的室内环境参数。

    -场地勘测：了解车间布局，考虑送风系统的管道走向、出口位置以及与车间的其他系统的兼容性。

    -技术规格书编写：根据需求分析结果，编写送风系统的技术规格书，包括系统设计的风量、风速、温度、湿度、洁净度等级等。

    2.系统设计

    -送风系统设计：包括风机选型、管道设计（风管尺寸、风管材质）、送风口设计等。

    -环境控制系统设计：包括温湿度控制、洁净度控制、压力控制等。

    -自动化控制系统设计：设计送风系统的自动化控制方案，确保系统运行的稳定性和效率。

    3.设备选型与采购

    -风机选型：选择符合生产环境需求的离心风机或轴流风机。

    -空气处理设备：如空气过滤器、加湿器、除湿器等。

    -自动化控制设备：选择合适的PLC、传感器、执行器等自动化元件。

    4.施工与安装

    -管道安装：按照设计图纸进行风管的制作和安装。

    -设备安装：包括风机、空气处理设备等主要设备的安装。

    -自动化控制系统安装：安装自动化控制元件，并进行初步调试。

    5.系统调试与测试

    -单机调试：对每一台设备进行单独的调试，确保其正常运行。

    -联动调试：测试整个系统的联动效果，包括风量、风速、温度、湿度的控制是否达到设计要求。

    -洁净度测试：对送风系统进行洁净度测试，确保满足半导体生产环境的洁净度要求。

    6.培训与交付

    -操作培训：对厂家的操作人员进行系统操作和维护的培训。

    -系统交付：完成所有调试工作后，将系统正式交给用户。

    7.后期维护与服务

    -定期检查：定期对送风系统进行检查和维护。

    -技术支持：提供必要的技术支持，解决用户在系统运行过程中遇到的问题。

    在整个送风系统工程方案的实施过程中，需要严格遵守相关的标准和规定，确保工程质量符合半导体生产的要求。同时，也要考虑到系统的经济性、节能性和可靠性。